半导体晶圆级湿制程电镀装备及半导体湿法装备与化学药液一体化工艺服务平台
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供液系统 / Chemical Supply
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Central Supply
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Local Supply
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适用于 |
- 用于酸碱类,有机类常用液态化学品;
- 就近供液,不需要厂务端进行管理;
- Fab升级改造的加装
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LCSS设备
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SDS设备
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适用于 |
- 用于Slurry化学品;
- 目前交付的设备以Local的为主;
- CMP配套机台;
- Slurry药液验证配套机台。
供液系统 / 典型系统流程图
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